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北京中仪万成科技有限公司
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FT-351高温四探针电阻率测试系统详情介绍FT-351hightemperaturefourproberesistivitytestsystem功能概述：overview1
FT-351高温四探针电阻率测试系统详情介绍
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置高温四探针测试探针治具
3. PC软件对数据的处理和测量控制.
4. 量程测试范围.
应用说明：
半导体材料的电导率对温度变化测量要求，测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
适用行业：Applicable industry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
型号及参数Models and technical parameters：
| 规格型号Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
| 1.方块电阻范围sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
| 2.电阻率范围resistivity range | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
| 3.测试电流范围test current range | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
| 4.电流精度current accuracy | ±0.1%读数 | ±0.1读数 | ±2% |
| 5.电阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
| PC软件界面 PC software interface | 显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
| 7.测试方式test mode | 双电测量Double electrical measurement | ||
| 8.四探针仪工作电源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
| 9.误差errors | ≤3%（标准样片结果 standard samples） | ≤15% | |
| 温度(选购)Highest temperature (choose and buy) | 常温 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
| 气氛保护（气体客户自备） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
| 温度精度 Temperature precision | 冲温值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控温精度 control precision：±1°C | ||
| 升温速度： rate of temperature increase | 常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
| 高温材料 High temperature material | 采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
| PC软件 PC software | 测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
| 电极材料 Electrode materials | 钨电极或钼电极 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
| 探针间距 The probe spacing | 直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
| 标配外（选购）： Except standard configuration (optional) | 电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
| 高温电源： High temperature power | 供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW | ||
整机示意图
整机工作原理
方块电阻测试时电流量程选择表
| 方块电阻（Ω/□） | 电流量程 |
| 0---1.2 | 100mA |
| 1---25 | 10 mA |
| 20---250 | 1 mA |
| 200---2500 | 100μA |
| 2000---25000 | 10μA |
| 20000---250000 | 1μA |
| >200000 | 0.1μA |
方阻测试时根据用户所选择的电压测量低压6V，中压15V，高压32V；材料测试的时候一直是6V
四探针测试方法
1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
操作流程及步骤
1.系统连接：将各个部件及控制系统、电源及USB通讯接口接通；
2.调通系统的连接是否正常，可以从PC软件及电阻率测试仪上的数据变化看出.
3.在高温箱体上分段设定所需要温度，当然也可以不分段而设定一个温度.具体高温箱体仪表操作请查看《温度仪表操作手册》.
4.待样品通过高温夹具进入高温箱体.
5.开启惰性气体输入阀门.
6.温度实时上升过程中，样品阻值实时曲线变化.
7.带温度达到设定值时，自动停止加热.
8.测试完毕，关闭高温电源，带10-20分钟后.
9.通过高温手套，移动夹具上升离开高温箱体.
10.用镊子取出样品.
PC软件界面图：
部分客户案例：
河南大学
郑州航空航天学院
南京航空航天大学
内蒙古科技大学
西南科技大学
宜宾学院
北京理工大学
优点介绍
1. 精度四探针测试仪匹配
2. 集成系统
3. 温度达到1600度.
4. PC软件实时数据处理及分析.
5. 具有保护气体功能.
服务项目
1.质保：12个月，长期维护.
2.培训：操作培训：
电话教学；U盘教学文件；远程可视沟通；现场教学；说明书教学文件
3.保养和维护：
提供因知保养和维护文件、标识、表格 、保养提醒.
4.验证文件：
3Q验证文件、计量证书
5.扩展服务：
延保服务，样品测试服务，后延服务，仪器租赁服务.
配套方案：
解决各材料状态
--固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量
配套选择方案：
绝缘材料表面和体积电阻率测试仪
FT-302电缆半导电屏蔽层电阻率测试仪
FT-300A系列材料电阻率测试仪
FT-320低阻材料电阻率测试仪
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