当前位置：郑州成越科学仪器有限公司>>等离子清洗机>>5L等离子清洗机电容耦合

5L等离子清洗机电容耦合

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地

在线询价收藏产品

更新时间：2023-01-13 15:26:18浏览次数：217次

联系我时，请告知来自智慧城市网

产品分类 品牌分类

  等离子清洗机

全部产品列表

暂无信息

郑州成越科学仪器有限公司

经营模式：其他

商铺产品：46条

所在地区：

联系人：汪纪彬

询价 给他留言

产品简介

简单介绍：等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性"组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的

详细介绍

详情介绍：

等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性"组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的

5L等离子清洗机电容耦合特点：

腔体可利用面积大，起辉均匀，可清洗6英寸硅片。

5L等离子清洗机电容耦合技术参数：

主要部件	指标名称	参数指标
清洗仓体	清洗仓材质	SS304
清洗仓体	清洗仓尺寸	200x160x240mm
耦合方式	电容耦合
射频电源	电源特性	该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。
	电源优势	●可长时间正常运行 ● 操作简单灵活 ● 电源效率高、发热少 ● 具有完善的反射功率保护功能
	射频功率	0~300W连续可调
	信号频率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率稳定度	±0.1%
	射频接头	N型头
	整机效率	≥75%
	谐波分量	≤-50 dBc
	冷却方式	强制风冷
气体测量	测量部件	两路质量流量计 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制其他参数参考之前的产品
	气体通道	两通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空获取	真空测量	数字真空计（电阻规）
	真空抽取	双极旋片泵
	电机转速	50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。
	抽气速率	50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	极限真空	0.5Pa
	电机噪音	≤56dB
	管道接口	进气口：KF16;排气口KF16.
	连接管道	KF16真空波纹管
	真空阀门	KF16球阀
	电机功率	400W
其它	供电电源	AC220V 50/60Hz
	整机功率	800W
	使用温度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整机尺寸	600mmX650mmX560mm
	整机重量	80kg（含包装）