当前位置：沈阳新松机器人自动化股份有限公司>>洁净机器人>>大气机械手Blade-D156

大气机械手Blade-D156

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地

在线询价收藏产品

更新时间：2023-06-05 21:27:15浏览次数：167次

联系我时，请告知来自智慧城市网

产品分类 品牌分类

  洁净机器人

全部产品列表

暂无信息

沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：24条

所在地区：

询价 给他留言

产品简介

高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。

详细介绍

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。

参数：

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		4
手数量Number of Arm		2
回转直径Maximum Swing diameter		586mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	340°
	伸展轴 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	R660mm
节拍 Swap time	升降轴 (Z轴) Up/Down( Z)-Axis	＜0.5s（Home to Fullextension）
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	0.7s/180°
	伸展轴 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	1.2s/450mm
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.006°(3σ)
	伸展轴 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	±0.1 mm(3σ)
行程		660mm
洁净度Clean Class		ISO CLASS 1
主机重量Body Weight		70 kg
电源Power Supply		208VAC(50Hz/60Hz)