X荧光光谱仪是由探测器、X光管、处理器以及滤光片几大部分构成。
a.探测器
探测器可谓是X荧光光谱仪的心脏部分了，而依分辨率高低档次由低至高常用的探测器有NaI晶体闪烁计数器，充气（He,Ne,Ar,Kr,Xe等）正比计数管器、HgI2晶体探测器、半导体致冷SiPIN探测器、高纯硅晶体探测器、高纯锗晶体探测器、电致冷或液氮致冷Si（Li）锂漂移硅晶体探测器、Ge（Li）锂漂移锗探测器等。
目前常用的是电致冷或液氮致冷Si（Li）锂漂移硅晶体探测器、SiPIN探测器、高纯硅晶体探测器。探测器的性能主要体现在对荧光探测的检出限、分辨率、探测能量范围的大小等方面。
b.X光管
X光管也X荧光光谱仪的核心部件。大多数X荧光光谱仪厂商奉行拿来主义，做的就是组装贴个品牌的工作。其性能寿命和分别的成本一般是5000小时合几千美金。而高档的X光管寿命一般在10年以上，成本当然也高达10多万人民币；就检测器SiLi电制冷的，寿命同样会在10年以上，成本至少15万人民币。
c.处理器
分为两种：数字脉冲处理器和模拟脉冲处理器，前者在数据处理处理上速度好。全数字脉冲处理快线路处理，容许死时间高达60%。
可采集大容量计数，可减少采集时间的数字与传统的模拟是两代处理器技术，技术水平一般差十年。模拟脉冲处理器一般信号处理模式，死时间仅容许30%。不能进行高通量信号处理，为获得大的计数必须延长采集时间。
d.滤光片
滤光片多，可以有选择的降低信噪比，对痕量分析十分有用。
以上就是一款X荧光光谱仪的构成部分。
