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上海尔迪仪器科技有限公司
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The production system Tetra 2400, with its 2400-litrechamber volume and PC control, is used in series production (cleaning, etchingａnd activation).
Special plasma system Tetra 2400-LF-PC
Technical data:
Switch cabinet:
W 600 mm, H 2200 mm, D 800 mm
Chamber:
∅ 1100, D 2500 mm
Chamber volume:
approx. 2400 litres
Gas supply:
3 gas channels via MFCs
Generator:
4 pieces (each 40 kHz)
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
Parts holding:
Rotary drum (with 16 baskets each with 30 litres volume)
Control
PC control (Windows) with industrial field bus
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