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沈阳科晶自动化设备有限公司
产品简介:VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。该机设备小巧,占用实验室空间少,操作简单,应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
产品型号 | VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、PLC控制面板,4.3″触摸屏,PID控温方式。 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。 3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。 4、已通过CE认证。 |
技术参数 | 1、输入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、输出功率:1600VDC 50mA(电流) 3、石英罩:Ø160mm×120mm 4、样品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,温度可到500℃;最长溅射时间不可超过5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量 7、靶材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可溅射氧化物、半导体、一些轻 金属、Al、Zn、C等 |
产品规格 | 尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg |
可选配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 |
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