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GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪

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更新时间：2022-10-05 12:41:01浏览次数：193次

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

详细介绍

产品简介：GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品表面的镀膜。GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用。GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪体积小，操作简单，适合用于实验室中对小样品的镀膜使用。

产品名称	GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
产品型号	GSL-1100X-SPC-16
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通风装置：不需要
主要特点	1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得的镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。 6、已通过CE认证。
技术参数	1、电源：220V 2、总功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、max均匀镀膜：Ø45mm
产品规格	尺寸：400mm×300mm×400mm；重量：30kg
标准配件	1	金靶材	1个
	2	进气针阀	1个
	3	保险丝	2个
可选配件	金、铟、银、铂等各种靶材