①混床离子交换纯化柱
混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成。阳离子交换树脂用其H＋交换去除水中的阳离子，阴离子交换树脂用其OH－交换去除水中的阴离子，在混床树脂中被交换出来的H＋和OH－结合生成H2O，因此混床离子交换纯化柱可用来深度去除RO纯水中尚存的微量离子。小型实验室超纯水器中的混床离子交换纯化柱通常为一次性使用。绿健水处理混床离子交换纯化柱采用核级混床树脂，其产水电阻率可达18.2MΩ.cm。
②EDI装置
连续电去离子EDI（Electrodeionization的缩写），是利用混床离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下分别透过阴阳离子交换膜而被连续去除的过程。这一新技术可以代替传统的离子交换（DI），产出10MΩ.cm以上的超纯水。EDI深度除盐的是可长期稳定运行，无需用酸碱再生阴阳树脂，十分适合造水量100L/h以上的超纯水制备系统，水质稳定，并将大大降低运行成本，TOC也将更低更稳定。EDI装置通常的产水电阻率约15~18MΩ.cm。
③除热原超滤膜
超滤除热原已广泛用于现代制药行业。超滤（Ultrafiltration，缩写“UF"）膜的孔径介于反渗透和微滤之间（约0.01～0.1μm），通常用最小截留分子量来表示。除热原超滤膜采用截留分子量为5000-100000道尔顿的聚砜膜，可去除水中热原（其最小分子量通常大于7000）及各类微生物。
④紫外线杀菌灯与TOC紫外消解器
紫外线杀菌灯采用254nm波长的紫外线照射杀菌，可有效破坏微生物的DNA分子，使之形成TT两聚体而无法繁殖，是空气、水安全有效的常用灭菌方法。TOC紫外消解器采用可同时产生185nm/254nm双波长的紫外线灯管，其中185nm紫外线在空气中可产生臭氧而杀菌除味，在水中会产生氢氧自由基，可将纯水中微量有机物迅速氧化为CO2，达到去除TOC的目的。
⑤终端过滤器
孔径0.22um的终端过滤器可滤除细菌、真菌及孢子、树脂碎片及一切微米级污染物。终端过滤器通采用聚丙烯0.22um折叠滤芯。
