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深圳市东信高科自动化设备有限公司
名称 | 中型立式真空等离子机 |
型号 | TS-PL120MA |
外形尺寸(W×H×D) | 1300mm×930mm×1900mm |
反应腔尺寸(W×H×D) | 500×500×500mm |
真空腔体材料 | 进口316不锈钢 |
真空泵 | 进口品牌 4L/S |
角阀 | 北仪 超真空40KF |
流量控制器及显示仪 | sevenstar ?0-800ml/min |
真空显示规管及读取器 | Pirani |
射频电源 | 美国品牌 40KHZ、100KHZ 13.56MHZ 、2.45GHZ |
PLC系统 | 三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模块两组,温度模块) |
电气系统 | 施耐德 |
变频器 | 西门子2KW |
触摸屏 | 中国台湾威纶真彩10.7寸 |
陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
处理气体 | O2、Ar2、N2,H2、CF4 |
120升真空等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等;去除有机污染物、油污或油脂;增强材料表面邦;提高材料表面浸润能力;等离子处理后涂覆/涂镀。定性可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
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