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深圳市东信高科自动化设备有限公司
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产品介绍名称石英真空等离子清洗机型号TS-SY05外形尺寸（W×H×D）600×420×320mm反应腔尺寸Φ160×240mm反应腔容量5L反应腔体材料石英真空泵油泵/干泵（选配）射频电源13
| 名称 | 石英真空等离子清洗机 |
| 型号 | TS-SY05 |
| 外形尺寸（W×H×D） | 600×420×320mm |
| 反应腔尺寸 | Φ160×240mm |
| 反应腔容量 | 5L |
| 反应腔体材料 | 石英 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（选配） |
| 射频电源 | 13.56MHZ |
| 处理气体 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
| 输出功率 | 0-300W可调 |
石英腔等离子清洗机由于其的腔体材料，使得等离子清洗机的腔体温度比普通的不锈钢腔体温度要低得多。对于材料温度有要求的产品很有帮助。而且石英等离子清洗机绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。操作简单、使用和维护成本极低。
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理，利用真空泵达到一定的真空值后，在电感的作用下，形成了活性很高的等离子体，由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理，在微波管、零件绝缘方面作用很突出，适用于高洁净度的敏感产品处理；广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。
其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
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