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深圳市东信高科自动化设备有限公司
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| 名称 | 大型等离子清洗机 |
| 型号 | TS-PL700MA |
| 外形尺寸（W×D×H） | 1400×650×800mm |
| 反应腔尺寸（W×H×D） | 2300×1250×1850mm |
| 真空腔体材料 | 进口316L不锈钢 |
| 真空泵 | 进口品牌、二级泵 （干泵+罗茨组合） （油泵+罗茨组合） |
| 角阀 | Youch 超高真空60KF |
| 流量控制仪及显示仪 | Sevenstar 0-800ml/min |
| 真空显示规管及读取器 | Pirani |
| 射频电源 | 美国进口品牌40KHZ 13.56MHZ |
| PLC系统 | 三菱（包括PLC，A/D模组两组，D/A模组两组，温度模块） |
| 电器系统 | 施耐德 |
| 变频器 | 西门子2KW |
| 触摸屏 | 中国台湾威纶真彩10.7寸 |
| 陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
| 处理气体 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
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