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深圳市东信高科自动化设备有限公司
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| 名称 | 中型立式真空等离子清洗机 |
| 型号 | TS-PL30MA |
| 外形尺寸（W×H×D） | 650×400×750(mm) |
| 反应腔尺寸（W×H×D） | 300×300×300(mm) |
| 真空腔体材料 | 进口316不锈钢 |
| 真空泵 | 进口品牌 |
| 角阀 | 北仪 |
| 流量控制器及显示仪 | sevenstar |
| 真空显示规管及读取器 | Pirani |
| 射频电源 | 美国品牌 13.56MHZ |
| PLC系统 | 三菱（包括PLC，A/D模组两组，D/A模块两组，温度模块） |
| 电气系统 | 施耐德 |
| 变频器 | 西门子2KW |
| 触摸屏 | 中国台湾威纶 |
| 陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
| 处理气体 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
中型等离子清洗机的优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。相比传统的一些清洗方 R-SD009 法，如超声波清洗、UV 清洗、大气等离子处理等，具有以下优点：
（A）处理温度低 处理温度可以低至 30℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面无造成热影响。
（B）处理全程无污染 等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何 污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
（C）处理效果稳定 真空等离子清洗的处理非常均匀稳定，效果比常压等离子处理效果更好，常规样品处理后较长时间 内保持效果良好。
（D）可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空 等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
中型等离子清洗机性能优势
? 电源：采用电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果
? 全面安全防护：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保 护功能
? 放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
? 密封性的真空腔体设计：级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，并配置进口技术 真空泵运行
? 优质产品部件：产品部件采用国内外优质品牌，确保设备性能*。
? 精密数控加工：进口精密 CNC 数控机床加工工艺，并经过进口三坐标测量仪进行质量监控
? 适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，均匀清洗。
中型等离子清洗机工艺流程 产品放置等离子真空室内关门→启动离子源系统→到计时开门取出产品（重复工作）
中型立式真空等离子清洗机广泛应用于： 1．等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后粘合； 3. 等离子蚀刻/活化； 4. 等离子去胶； 5. 等离子涂镀(亲水,疏水)； 6. 增强邦定性； 7.等离子涂覆；8.等离子灰化和表面改性等场 合。 通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合 力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
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