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北京英格海德分析技术有限公司
Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪我们还可以做元素成像(就象化学地图)和混合模式扫描,自动测量正、负和中性粒子。
Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪
仪器简介:
1. 适合做多层薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。
3. 方便使用。
4. 样品可以手动转换,由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。
5. 我们的系统可配置快速原子枪,使我们可以轻松处理绝缘的样品。
6. 我们还可以做元素成像(就象化学地图)和混合模式扫描,自动测量正、负和中性粒子。
7. 我们的系统是典型的超高真空工作台,很容易满足很多其它分析的使用。
结构紧凑,但不损失性能。真正的高性价比。
技术参数:
质量数范围:300,510或1000amu
分辨率:5%的谷,两个相连的等高峰。
检测器:离子计数检测器,正、负离子检测
检测限:1:10E7
质量过滤器:三级过滤四极杆(9mm杆)
主离子枪: A,氧离子或其它气体,能量到5KeV
B,Ga离子枪,能量25KeV(选配)
空间分辨率:A:100~150um
B: 50nm
取样深度:2个单分子层(静态)
不受限制(动态)
Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪 主要特点:
高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
SIMS 成像,分辨率在微米以下
光栅控制,增强深度分析能力
所有能量范围内,离子行程的小扰动,及恒定离子传输
差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至1000amu
灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
Penning规和互锁装置可提供过压保护
通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制
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