洁净机器人MFS2200D

大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载：50KG
动态范围：1780mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

特点

l 适用于第6代（1500*1850mm）超大型

液晶玻璃基板的高速搬运。

l 高速、稳定搬运，提高生产效率。

l 高度柔性动作，大幅度削减配套设备费用。

l 长期保持高洁净度，降低运营成本。

l 大幅缩短生产线建立时间。

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。