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上海纳腾仪器有限公司
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Park Systems的PTR系列是针对全自动工业级线上的原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具，硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降，同时还要保证高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外，自动化功能可极大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的好的选择，兼顾佳的质量和高的产量。大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。
多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact™模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，提供更持久的高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。
基本技术参数
电动XY平台 | 电动Z平台 | 噪音 |
行程可达200mm x 200mm, 2 μm重现性 0.095nm分辨率 | 25 mm Z行程距离 0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性 | 小于 0.5 μm/s |
尺寸&重量 | 控制箱 | 设备需求环境 |
880（w）x 980（d）x 1460（h） 620kg | 600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg | 室温10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 湿度 30%~60% |
主要功能
1.全自动线上，快速，精准可靠的PTR测量
2.不需要多次扫描
3.自动在线硬盘滑块测量
4.自动缺陷检测分析
5.自动激光校正，以及自动转换探针
应用
全自动化极尖沉降(PTR)测量
实现各类墙角的自动测量与分析。
实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。
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