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上海纳腾仪器有限公司
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MPI TS50手动探头系统是专为集成电路工程，单模探头和学术用途的DCCV和RF测量应用。TS50占用空间小(300 x 300毫米)，设计成的形式，方便操作，提供快速设置，而且不损害功能和测量能力。
二、功能
1. Easy stage
TS50可配置两种不同版本的卡盘级控制。 Easy Stage是一款非常简单的真空控制单手操作装置，可实现快速直观的XY-Theta机芯。 这是简单DC / CV应用的典型配置。
2. 线性50x50mm XY平台
线性50x50mm XY平台可实现快速独立的轴运动，并具有额外精细和精确的25x25mm XY-Theta千分尺定位。RF必须选择或与热卡盘结合使用。
3. 高度调整量表
探头压板具有20 mm的精细高度调节，以支持各种应用。并可用于所有MicroPositioners的接触/分离控制。
4. 三轴夹头
对于RF应用，TS50的50mm三轴卡盘安装有一个内置陶瓷材料的辅助卡盘，用于精确的RF校准。
5. MicroPositioners的矩形调整
此外，两端口RF MicroPositioners的矩形调整是保证RF探头之间对准的标准功能。
6. MicroPositioners的多种配置
它可配置多达8个MPI MP25或6个MPI MP40微型定位器，以满足多种焊盘和器件布局要求。
7. 各种光学选择
各种光学器件可供选择，适用于所有常见的DC / CV应用，也可选择单管高倍率显微镜，用于RF或负载牵引配置。
8. IC支架
可选的单个IC支架将TS50转换为理想的平台，可进行低至1x1mm的单DUT测试。它包括一个稳定方便的真空开关，可以正确固定大至10x10mm的芯片尺寸。在平行高度上集成校准基板支架允许进行RF测量，并且可以安装在包括各种热卡盘的任何卡盘上。
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