日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000具有精确性高、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不加τ梅较虻男枰峁┝硕嘀挚裳∨渲茫ü∨淙上窀郊鬃盎箍梢约蟮乩┏湟瞧鞯墓δ堋Ⅻbr />
日本KOSAKA探针式轮廓仪T4000主要特点
1. 具有良的台阶高度重复性5Å (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；
2. 高分辨率，纵轴分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
3. 高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；
4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料；
5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高精度定位量测；
6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量；
7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用；
日本KOSOKAE探针式轮廓仪T4000产品参数
| 型号 | ET4000M | ET4000A | ET4000L |
| 样品尺寸 | 300x300mm | 210x210mm | 300x400mm |
| 样品台 | 尺寸 | 320x320mm | 220x220mm | 540x400mm |
| X轴倾斜度 | ±1mm/150mm(机动倾斜） |
| Y轴倾斜度 | —— | ±1mm/150mm(机动倾斜） |
| 承重 | 2Kg |
| 检出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节 |
| 范围 | 100μm |
| 驱动 | LVDT直动式（差动变压器） |
| 触针 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) |
| X轴 | 测长 | 100mm |
| 直线度 | 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) |
| 速度 | 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） |
| 重复性 | ±5μm（定位） |
| Y轴 | 测长 | —— | 150mm | 400mm |
| 直线度 | —— | 5μm/150mm |
| 重复性 | —— | ±5μm（定位） |
| Z轴 | 测长 | 52mm |
| 放大倍数 | 垂直 | 50-2000000 |
| 水平 | 1-10000 |
| 3D | —— | 可选择 |
| θ轴 | —— | 可选择 |
| 辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 |
| 监控系统 | 摄像装置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） |
| 监视装置 | 视频捕捉板 |
| 应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 |
| 重复性 | 1σ0.5nm |
| 电源 | AC100V 800VA |
| 外观尺寸 | W660xD580xH660mm 200Kg | W930xD930xH790mm 380Kg |
日本KOSOKAE探针式轮廓仪T4000应用
全自动接触式轮廓仪ET4000系列可适用于薄膜、 FPD、晶片、磁盘和与纳米材料相关物件，测量微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等，可应用于半导体、微量流控、精细加工和存储器等行业。
