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上海羽宸光电科技有限公司
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SLM-Series
单频 ns-激光器
SLM激光器有<12ns的短脉冲输出，衍射极限光束M2<1.2在8-15KHz的重频之间。种子激光器输出带宽∆ ν < 80 MHz. 这些激光器非常适用于科研应用。
激光器详细参数：
| 型号 | SLM-1.06 | SLM-S | SLM-355 | SLM-266 | SLM-213 |
| 波长 | 1064nm | 532 nm | 355 nm | 266 nm | 213 nm |
| 谱宽 | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz | < 80 MHz |
| 相干长度 | > 1 m | > 1 m | > 1 m | > 1 m | > 1 m |
| 平均功率 | > 8.0W | > 4.0 W | > 2.0 W | > 500 mW | > 100 mW |
| 脉宽 | < 12 ns | < 12 ns | < 10 ns | < 10 ns | < 8 ns |
| 单脉冲能量 | 800 µJ | 400 µJ | 200 µJ | > 80 µJ | 10 µJ |
| 重频 | 8 - 15 kHz | 8 - 15 kHz | 8 - 15 kHz | 1 - 20 kHz | 8 -15 kHz |
| M² | < 1.2 | < 1.3 | < 1.3 | < 1.7 | < 1.6 |
| pulse-to-pulse 稳定性. | σ < 0.3% | σ <1.0% | σ <2.0% | σ <2.0% | σ <2.5% |
Ixion-193-SLM
IXION-193 SLM是一款单频全固体激光系统，应用于光学计量，193nm步进光学校准，或者高功率ArF的带宽控制。激光器系统中心波长在190-194nm,精度0.01nm.
产品特色：
·激光二极管泵浦
·密封封装
·槽安装激光二极管
·优秀的TEM00光束轮廓
·低pulse-to-pulse波动
·不需维护的热电管理
·19’’机架电源和冷却装置
·Labview驱动
·集成光谱仪为在线波长控制（可选）
应用：
·193nm计量学
·光谱仪校准
·干涉测量法
·的种子注入
详细参数：
| 型号 | IXION-193 SLM | |
| 波长 | 193.368 nm | |
| 平均功率 | > 10 mW | |
| 脉宽 | < 10 ns | |
| 单脉冲能量 | 1.6 µJ | |
| 重频 | 6 kHz | |
| M² | < 1.6 | |
| 光谱线宽 | < 120 MHz ⇔0.015 pm ⇔ 0.004cm-1 | |
| 光谱可调谐性 | > 80 GHz ⇔ 10pm ⇔2.6 cm-1 | |
| 相干长度 | > 1 m |
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