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上海羽宸光电科技有限公司
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特点：
在75V电压驱动下在X, Y, & Z方向进行90微米的压电运动
各带有9个安装孔的三个安装表面
小尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm)
弯曲设计提供了平滑持续运动和高硬度
高共振频率减小了外部振动的影响
可选应变式传感器提供好的重复性（ 50纳米）
特点：
移动范围：4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)
闭环工作时压电驱动可选
高分辨率：50nm & 0.3 Arcsec（手动）, and 10nm & 0.06 Arcsec（压电驱动）
高硬度
高共振频率：>130Hz (10%)
主动热补偿
低成本
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