上海伯东德国普发 Pfeiffer 镀膜工艺气体监测质谱仪 SPM 220为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了好的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

详细介绍

价格货期电议！

镀膜工艺气体监测质谱仪 SPM 220
上海海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

镀膜工艺气体监测质谱仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
对测量结果的最小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：

<table border="1" cellpadding="0" cellspacing="0" style="width:

SPM 系统控制

BRU 220

电压

115-230 V

前级泵

MVP 020-3

四极控制

QME 220

带 SPM 离子源的分析仪

QMA 220

探测器

C-SEM/Faraday

杆系统：材料

不锈钢

杆系统：直径

6 mm

杆系统：长度

100 mm

检测极限（氩中）：二氧化碳

< 100 ppb

检测极限（氩中）：氧气

< 100 ppb

检测极限（氩中）：氮

< 100 ppb

检测极限（氩中）：水

< 3000 ppb

检测极限（氩中）：水蒸气

< 500 ppb or < 6000 ppb

涡轮分子泵

带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

质量数

1-100 amu or 1-200 amu

过程压力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

连接法兰（入口）

DN 40 CF-F

重量

13 kg

上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源离子枪霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机，Europlasma等离子纳米涂层设备等。