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广州科服仪器有限公司
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MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪
产品特点：
• 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
• 微型结构的面内振动
如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
• 微型结构的表面形貌
如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌
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