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江苏半导体工业产生的废气应该怎么处理

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产品型号废气设备

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地深圳市

更新时间:2023-04-17 15:05:19浏览次数:200次

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产品简介

半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理好?

  半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有大量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是

详细介绍

  半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理好?

  半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有大量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是具有挥发性的VOCs。

  温馨提示:VOCs污染物为有机化合物,在浓度较高且有火花或静电情况下,极易发生闪爆现象。

  半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等,而这些都是属于有害的污染物。

  半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理设备的选择:

  沸石转轮吸附浓缩装置:主要用于有机废气的治理, 特别适合于大风量,低浓度场合;

  喷淋塔:对于含有酸性/碱性物质的废气 ,半导体厂封闭车间大都采用大型卧式洗涤塔进行废气处理。

  TO直燃炉(催化燃烧装置):对大风量、低浓度的VOCs废气,TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。

  半导体工业废气是具有毒性的,不同的工业采用的工艺原材料不同,因此采用的废气处理设备以及工艺都是不一样的,具体的解决方案可咨询宏森环保的在线工程师。


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