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爱发科真空泵VDN系列

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更新时间:2022-07-29 10:09:10浏览次数:340次

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产品简介

株式会社ULVAC作为追求真空极限(UltimateinVacuum)的真空技术,以电子技术及信息通信技术为首,在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域,以生产设备为中心、提供*的真空技术产品

详细介绍

株式会社ULVAC作为追求真空极限(Ultimate in Vacuum)的真空技术,以电子技术及信息通信技术为首,在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域,以生产设备为中心、提供*的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面,以真空技术为基础,进行了各种技术开发,已经和正在提供作为制造工艺重要部分的*设备。

1-泵体;2-旋片;3-转子;4-弹簧;5-排气阀

旋片泵工作原理图

爱发科真空泵电功率的增大主要是机械上的毛病。如新安装的爱发科真空泵联轴器组装不当,即机泵的轴线不在同一条直线上,旋片与缸体碰撞,会使泵浦运转时电流增大,应重新组装真空泵。正常运行的泵浦,电动机导轴承和推理轴承的磨损,真空泵轴承和旋片磨损或者是电动机转子的扫膛。这些都会增加泵浦的机械磨损,导致电流增大并耗用电功率。因此泵浦运用到一定时间应进行保养和更换易损件。


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