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北京天裕德科技有限公司
能适应单晶硅、多晶硅、非晶硅电池划片和硅、锗、砷化镓半导体材料的划片和切割。
规格 | VC10 | VC20 |
---|---|---|
激光波长 | 1.064μm | |
激光功率 | 10W | 20W |
激光重复频率 | 20KHz~100KHz | |
划片线宽 | ≤30μm | |
划片速度 | 160mm/s | 200mm/s |
划片精度 | ±10μm | |
工作台幅面 | 350mm×350mm | |
工作电源 | 220V/50Hz/1KVA | |
工作台 | 双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作 | |
重复定位精度 | ±10μm |
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