三坐标测量仪是一种效率很高的仪器，用它来测量圆度也具有很高的精度，尤其在批量测量的时候更能显示出它的优点，而且，用三坐标来测量圆度，工件不需要调平和调中心，能节省不少时间，同时也减少了这两项误差来源，使测量误差于测量机本身的误差和表面粗糙度的影响，减化了误差模型。三坐标测量仪测量圆度的方法主要有：
1． 扫描测量
如果要掌握完整的形状，可以采用扫描方式，采用扫描方式时，得到的是完整的轮廓，采用包容区域法进行评定。扫描方式的特点是效率稍低一些，但可以对零件轮廓进行详细分析。两种方法都能对圆度作出准确的测量，可以根据实际要求选用。
2．单点测量
采用单点触测方式由于得到的是一些离散的点，所以采用二乘法进行计算和评价。采用二乘法进行计算时，采样点一般为偶数，且平均分布。在用单点法进行圆度测量时，采样点数不能太少，否则反应不了圆度的真实情况，一般要达到16 点以后即可反映被测圆的基本轮廓形状，如果为了掌握更严密的形状，可适当增加测量点数，如24，32 等。采样时一般采用自动测量，因为手动采样不便控制矢量方向。单点触测方式的特点是测量效率高，对测球的磨损小。
实测结果表明，不论是单点测量还是扫描测量，测量仪都可以得到过与圆度仪十分接近的结果，说明三坐标测量仪测量圆度具有很高的精度。但是，由于三坐标测量仪一般都采用球形测头，球形测头对脏物比较敏感，容易造成虚假测量，而圆度仪采用的是斧形测头，能够穿过脏物，因此脏物对它的影响较小。所以使用三坐标测量仪时要注意对工件的清洁。
