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合肥智测电子有限公司
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光刻机曝光光学系统高精度温度传感器是合肥智测电子有限公司的一款高精度热敏电阻测量产品，支持4线制热敏 电阻测量，测量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。
光刻机曝光光学系统高精度温度传感器
引言
光刻机（Mask Aligner）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机工艺是由硅片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜、检测。其中光刻机的检测尤为重要光刻胶在显影后在烘烤硬化坚膜。对刻蚀和离子注入工艺非常关键。正胶的坚膜烘培温度约为120℃到140℃。温度太高会产生光刻胶流动。因此温度对于光刻的成品率起着重要的决定性因素
光刻机工艺是由硅片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜、检测。其中光刻机的检测尤为重要光刻胶在显影后在烘烤硬化坚膜。对刻蚀和离子注入工艺非常关键。正胶的坚膜烘培温度约为120℃到140℃。温度太高会产生光刻胶流动。因此温度对于光刻的成品率起着重要的决定性因素
产品介绍
光刻机曝光光学系统高精度温度传感器又叫NTC测量模块是一种以负温系数热敏电阻为感温探头的传感器。NTC测量模块是合肥智测电子有限公司的一款高精度热敏电阻测量产品，支持4线制热敏 电阻测量，测量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS协议，包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII协议，NTC测量模块采用24V直流电压供电，提供4线制热敏电阻温度测量，用户可输入NTC 特征参数，精度可达±0.02℃。模块配备了RS485通讯接口，支持MODBUS协议，可提供 用户二次开发。独立的电源开关可单独控制模块供电。
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公司专业致力于高精度电信号检测、高精度温度检测（包括铂电阻、热敏电阻、热电偶）、高稳态温度场发生（包含电阻加热、压缩机制冷、半导体制冷技术）及控制技术，研发生产计量校验仪器设备、检测仪器、传感器等，为用户提供计量、校验、检测解决方案。公司产品，标准智能测温仪、PCR仪温度校验、灭菌温度验证、热阻热偶检定、环境试验设备温湿度校准、纯蒸汽质量测试、智能环境温湿度记录仪、校准恒温槽、热偶炉、干式炉等广泛应用于计量、质检、科教、工业、生物医药等领域。
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