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天津多为莱博科技有限公司
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上图为探针台的样品空间 | 上图为定制的样品座和4个直流探头。 |
美国ARS 公司的PS-L型液氦/液氮型低温探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。
液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。
该类型探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
该系统旨在提供一个大的、干净的样本环境。真空室由焊接不锈钢制成，辐射防护罩由镀有镍的HC铜制成。镍镀层的低发射率和铜的高导电性使得样品空间的辐射屏蔽更冷，净制冷量更大。高质量的真空元件是至关重要的，因为它允许更深层的真空水平和更清洁的样品具有更好的电接触。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。
应用案例：
►电磁特性
►微波特性
►低频，高频特性
►MEMS
►纳米电子学
►超导特性
►纳米器件光电性能
►量子点及纳米线
►单电子
►低电流物理特性
典型结构
►液氦/液氮型低温恒温器
►传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）
►流量计
►10英寸的不锈钢真空腔带6个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑
►8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏
►2.25英寸的无氧铜接地样品座
►DC, 微波或光纤探针
►4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视
►LS336四通道温度控制器带与恒温器连接电缆
►7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源
特点 | 备注 |
8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏 |
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2.25英寸镀金无氧铜样品台 | 可升级4英寸样品台 |
高纯石英观察窗 |
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蓝宝石防热辐射屏冷窗 |
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多至8个三维微操作探针臂 |
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可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂 |
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控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器 | 温度计安装位置： 1、冷头温度计，用于诊断 2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温 3、样品温度计，用于精确测量样品温度 4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样 |
三级减振系统样品台综合振动<1微米 | 样品台振动<100nm |
7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源 | 可升级16:1显微观察系统 |
规格及技术参数 |
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制冷方式 | 开环恒温器，液氦/液氮 |
温度范围 | 液氦~4K - 400K(可选500K,800K) 液氮~77K - 400K(可选500K,800K) |
温度稳定性 | 优于50mK |
泵抽真空时间 | 机械泵约45分钟 分子泵约10分钟 |
降温时间 | 约30到45分钟降温到5K |
真空腔 | 不锈钢真空腔 直径10英寸 上盖安装高纯石英窗口 |
防热辐射屏 | 镀镍无氧铜防热辐射屏 直径8英寸 上盖蓝宝石冷窗 热连接至1级冷头 |
样品台 | 镀金无氧铜样品台 2.25英寸直径 |
样品台连接 | 接地（标准） 绝缘（可选） 偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选） 偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选） |
探针臂位移台 | 手动驱动 不锈钢焊接波纹管连接 X方向（轴向）2英寸行程 Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 灵敏度5微米 |
振动 | 三级减振，样品台综合振动优于1微米 |
温度计安装 | 4个温度计，2套加热器 4个温度计位置： 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断 1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置： 1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温 1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
显微观测系统 | 标准7:1显微镜 4.2毫米-0.61毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.024-0.08 光源：环形光源 分辨率：3微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜 12.8毫米-0.8毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.0090-0.15 光源：环形光源 分辨率：2微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 |
探针臂 |
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直流/低频探针臂 | 微型同轴电缆 接头：SMA或BNC 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 包含接地屏蔽接头 三同轴电缆 接头：三同轴接头 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 卡尔文探针 电缆：同轴或三同轴 接头：SMA/BNC/三同轴 频率：0-100兆赫兹 针尖材料： 钨针（标准） 镀金钨针（可选） 铍铜镀金（可选） 针尖半径： 0.5微米（其他半径可选） |
GSG高频探针臂 | 0-40GHz 接头：K型接头 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头：2.4 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头：1.85 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 |
光纤探针臂 | 紫外/可见 或 可见/红外 接头：SMA905公头 光纤样品端：抛光裸头 尺寸：100微米-400微米 |
典型案例
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带超低振动隔离器的PS-L连续流型低温探针台。本设计具有手动和电动功能。 | |
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