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1. 输出零气流量：0-5000ml/min
2. 输出零气烃类含量：<10ppb
3. 输出零气压力：0.1-0.6MPa（无内置空压机，依靠入口空气压力）
4. 输出零气露点：<-20℃
5. 输出零气颗粒：<0.01μm
6. 工作条件：环境温度1－40℃，湿度<80%
7. 供电电源： 220V±10% 50~60Hz
8. 峰值功率： 500W
9. 外型尺寸： 450×430×177（mm）
10. 净重： 约18Kg
