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苏州星源洁净环境科技有限公司


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MDA-40FA/60FA全自动光刻机

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MDA-40FA/60FA全自动光刻机
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所  在  地苏州市

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更新时间：2022-05-15 11:04:33浏览次数：626次

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苏州星源洁净环境科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：1748条

所在地区：江苏苏州市

联系人：高新 （总经理）

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产品简介

详细介绍MDA-40FA/60FA全自动光刻机MIDASSYSTEM公司开发并生产用于半导体、MEMS、LED及纳米技术相关的实验室和工业领域的光罩对准曝光机和甩胶机，是韩国一家研发并商业化光罩对准曝光机的企业，始终致力于不断完善、增强技术型企业的核心竞争力

详细介绍

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MDA-40FA/60FA全自动光刻机




MIDAS SYSTEM公司开发并生产用于半导体、MEMS、LED及纳米技术相关的实验室和工业领域的光罩对准曝光机和甩胶机，是韩国一家研发并商业化光罩对准曝光机的企业，始终致力于不断完善、增强技术型企业的核心竞争力。

MIDAS SYSTEM公司具有专业化的设计团队，以客户需要为己任，生产、供应满足国内外企业、科研院所不断增长的应用需求，并且提供半导体工艺相关的设备需要。















MDA-40FA/60FA型曝光机是一款MIDAS公司新开发的产品，代表了下一代全区域光刻系统。这一新型半自动化对准曝光平台具有更高的重复光刻精度以及更可靠的操作，非常适合陶瓷及其他探针卡应用，同时MDA-12SA型半动化光罩对准曝光机具有更高的生产能力和容易操控。
厂家链接：.cn

MDA-40FA
操作简单，PLC操作，PC控制，图像采集和数据记录，100多个程序配方，显微镜位置控制系统，自动对齐标记搜索功能


类型：全自动
掩模版尺寸：5英寸
基板尺寸：2~4英寸
均匀光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外灯，350W
光束波长：350~450nm
光束均匀度<±3%
365 nm强度  ~25 mW/㎠
对齐方式：全自动
对准精度：1 um
加工方式：软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接触




MDA-60FA
操作简单，PLC操作，PC控制，图像采集和数据记录，100多个程序配方，显微镜位置控制系统，自动对齐标记搜索功能


类型：全自动
掩模版尺寸：7英寸
基板尺寸：4~6英寸
均匀光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外灯，350W
光束波长：350~450nm
光束均匀度<±5%
365 nm强度  ~25 mW/㎠
对齐方式：全自动
对准精度：1 um
加工方式：软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接触


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商铺：https://www.afzhan.com/st211693/

主营产品：远程在线环境监控系统、尘埃粒子计数器、浮游菌采样器、风量仪、高效过滤器检漏、泄压阀（压缩空气质量检测仪）、气流流行检测仪（烟雾发生器）、气溶胶发生器、气溶胶光度计、温湿度压差测试仪，臭氧浓度检测仪、风速仪、声级计、照度计、压差表（计）等


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