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苏州星源洁净环境科技有限公司


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MDA-12SA光刻机

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产品型号

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地苏州市

更新时间:2022-05-10 13:35:36浏览次数:107次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:1748条

所在地区:江苏苏州市

联系人:高新 (总经理)

产品简介

详细介绍MDA-12SA光刻机光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,紫外曝光机等

详细介绍

详细介绍

MDA-12SA光刻机




光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,紫外曝光机等;





MIDAS为的半导体设备供应商,多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产,并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;该公司是目前世界上将光刻机商品化的公司之一,拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力;并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用;以优秀的技术、的工艺和良好的服务,赢得了用户的青睐。

产地:韩国MIDAS公司,能做到图形化蓝宝石衬底(PSS)光刻机,高性价比
型号:MDA-12SA



操作简单,可编程控制器(PLC)操作,PC控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,电动操纵杆控制,电动变焦显微镜和工作台,显微镜位置控制系统
•操纵杆控制,半自动
•掩模版尺寸高达14英寸
•基板尺寸8~12英寸
•均匀光束尺寸13.25*13.25英寸
•紫外线光源:紫外线灯,2 kW,5 kW
•光束波长:350~450 nm
•光束均匀性:<±5%
•365 nm强度:2 kW:~25 mW/㎠,5 kW:~45 mW/㎠
•定位方法:操纵杆控制,半自动
•对准精度:1 um
•操作模式:软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率:2 um@1 um PR厚度,真空接触




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