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苏州星源洁净环境科技有限公司


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PL SERIES纳米压印系统

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品       牌

厂商性质生产商

所  在  地苏州市

更新时间:2022-05-10 13:29:33浏览次数:108次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:1748条

所在地区:江苏苏州市

联系人:高新 (总经理)

产品简介

详细介绍PLSERIES纳米压印系统PLSERIESMidas推出了一种台式、独立的纳米压印平台:PL系列PL200/400/600

详细介绍

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PL SERIES纳米压印系统





PL SERIES
Midas推出了一种台式、独立的纳米压印平台:PL系列PL 200/400/600。该平台提供了一个带有微定位装置的机械平台,用于安装纳米压印室、UV固化源和校准显微镜。它既可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模对准器,同时为您的整个压印过程提供可编程的自动控制。









•基板尺寸 PL 200:2英寸,PL 400:4英寸,PL 600:6英寸(尺寸较小,形状不规则)
•压印面积与晶圆尺寸相同
•模板尺寸  PL 200:2,1英寸,PL 400:4,3,1英寸,PL 600:6,4,2,1英寸
•压印压力1 psi标准
•包括模具/基板自动释放-无需特殊工具
•95%强度水平下的紫外线照射时间2~3分钟
•对准能力X、Y、Z和θ(精度2μm)






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