LSM显微镜系统使用激光作为光源，采集样品一定光切厚度的激光反射信号，并在三维高度上进行扫描得到光切面的图像堆栈。光路中设置有小尺寸的光栏(通常称为针孔)，该针孔仅允许焦平面的光线通过，阻挡非焦平面的光线进入探测器。
为了对光切面进行成像，还需要控制激光束进行X、Y方向的扫描。扫描的时候，焦平面的信息会呈现亮色，而非焦平面的信息会呈现黑色。
移动样品和物镜的相对位置，就可以以无损方式得到一系列沿高度方向上的光切面图像堆栈。
分析水平图像上单个像素位置在高度上的亮度变化曲线，就可以得到当前像素位置的物体高度值。综合整个视场内所有像素位置的高度信息就可以形成测试面积上的高度分布云图。
物镜
共聚焦专用C Epiplan-APOCHROMAT高性能物镜
使用复消色差平视场校正C Epiplan-APOCHROMAT系列物镜，可以更好地满足反射光应用的严苛要求。
该系列物镜可以保证在可见光谱范围内具有出色的成像对比度，以及高透过率。
同时还可以在宽场观察模式下得到很好的微分干涉效果，以及清晰的荧光图像。
C Epiplan-APOCHROMAT物镜专为共聚焦成像设计，在使用激光波长405 nm的情况下，能够实现全视野中最小的像差。使用这一物镜能够以更少的干扰噪声和伪影来产生更好的形貌数据，进而呈现更多样品表面细节。
软件
OAD：ZEN成像软件的接口
蔡司LSM包含新版本的ZEN成像软件，其中包括用于数据交换的开放式应用程序开发(OAD)接口。
自定义和自动化您的工作流程。当基础版ZEN软件无法满足您的需求时， 您可以使用已建立的第三方分析和研究软件(如MATLAB)交换数据。
您可自行创建宏解决方案。轻松获得ZEN的一系列重要功能，等元件库的能力。
用ConfoMap进行3D表面分析
ConfoMap是实现3D表面形貌显示和分析的理想选择。
根据新的计量标准进行表面性能的质量与功能评估，。
您可以在软件中对图像进行综合几何形状、功能性和粗糙度研究，以及创建详细的表面分析报告。
新增可选模块用于高级表面纹理分析、轮廓分析、晶粒与颗粒分析、3D 傅立叶分析及表面进化分析和统计。
