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晶圆平坦化设备ELT

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更新时间：2020-10-20 17:07:35浏览次数：248次

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产品简介

晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其结构包括晶圆传送机构本体9，晶圆传送机构本体9安装在晶圆装载卸载平台11和晶圆传送中转平台12外侧的主机架10上，晶圆传送机构本体9的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台8与晶圆中转平台9。

详细介绍

晶圆平坦化设备晶圆传送机构，其结构包括晶圆传送机构本体9，晶圆传送机构本体9安装在晶圆装载卸载平台11和晶圆传送中转平台12外侧的主机架10上，晶圆传送机构本体9的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台8与晶圆中转平台9。

　　所述的晶圆传送机构本体9包括步进电机1、*同步轮2、第二同步轮3、安装板6和传送手臂8，其中安装板6一端设步进电机1，步进电机1连接*同步轮2，第二同步轮3设置在安装板6另一端，*同步轮2和第二同步轮3上挂设同步带7，同步带7上连接有传送手臂8。

　　所述的传送手臂8上设气缸或电缸4，气缸或电缸4输出端连接真空吸盘5，真空吸盘5外接真空产生单元。

　　步进电机1转动时，可驱动传送手臂8水平运动，气缸或电机4则可驱动真空吸盘5做垂直运动，由真空产生单元产生真空驱动真空吸盘吸取晶圆，以上结构可把晶元从晶圆装载卸载平台8搬运到晶圆中转平台9。

　　根据以上结构，工作时，晶圆研磨结束后卸载到晶圆装载卸载平台11上，晶圆传送机构本体9把晶元运送到晶圆传送中转平台12。

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