Piezo Motor LL1011D线性电机介绍

•非磁性

•真空兼容

•直接驱动-无齿隙

•保持位置无功率消耗

Piezo Motor  LL10线性电机适用于各种OEM应用，重点是在需要非磁性和/或真空兼容电机的环境中进行精确定位。Piezo LEGS的直接驱动原理确保运动无任何机械间隙或齿隙。有了这个非常紧凑和强大的电机，亚微米级的移动变得很容易。

当需要更好的分辨率和平滑的线性运动时，它可以取代步进电机组件。

为了实现真空兼容性，电机包含组件，并经过专门准备，以便大限度地减少放气，并且电机可以在高达125°C的温度下烘烤。

电机核心的压电陶瓷执行器本质上是非磁性的，电机外壳和其他部件由非磁性合金制成。

在距离电机外壳10 mm处，磁通密度小于1 nT（参考测量中的传感器灵敏度）。

Piezo LEGS技术的特点是其精度、快速的响应和沉降时间。占地面积小、重量轻、功耗适中也是其他优点。这项技术与纳米计的分辨率相结合，是非常特别的。

该电机非常适合移动和保持应用，因为它的设计很硬，并且在保持位置时不会消耗任何功率。驱动技术是直接的，这意味着不需要齿轮或导螺杆来产生线性运动。电机以微步进的方式移动，将一个完整的波形步进划分为纳米级的增量。速度范围从纳米每秒到毫米每秒，可以在整个动态范围内进行无电控制，以改变驾驶模式。

控制电机我们提供一系列的驱动器和控制器。PMD301微步进控制器/驱动器既可以用作与外部运动控制器的浮动连接，也可以用作闭环控制器，通过串行RS485或USB接口处理命令的精确定位。

多个单元可以通过串行线进行链接和控制。微步进功能将每一步分为数千个小增量，从而获得纳米分辨率。

PMD401板级控制器/驱动器也通过RS485串行接口进行通信，是紧凑的解决方案。对于许多需要紧密集成的OEM应用程序，此板是一个或多个运动轴的正确选择。

先进的替代方案是DMC-30019，它是一种具有Galil架构的全功能PID控制器。

它可以处理速度控制和轨迹跟踪，并具有脚本编程能力，可同时执行四个程序。

一些客户更喜欢在集成之前设计自己的驱动程序。我们提供信息以协助设计。

工作原理

压电腿行走原理是非共振型的，即驱动腿的位置在任何给定时刻都是已知的。这确保了在整个速度范围内对运动的良好控制。

压电乐高电机的性能与直流或步进电机在几个方面不同。PiezoLEGS电机是基于摩擦的，这意味着运动是通过驱动腿和驱动杆之间的接触摩擦传递的。你不能指望每一步都等于下一步。如下图所示，如果电机在不同负载下运行，情况尤其如此。对于每个波形周期，压电式LEGSmotor将进行一个完整的步骤，称为一个wfm步骤（在波形Rhomb无负载时约7.5μm）。在右侧的示意图中，您可以看到一个步骤正在完成。驱动杆的速度为wfmstep

长度乘以波形频率（7.5μmx 2 kHz=15 mm/s）。

微步进是通过将wfm步骤划分为离散点来实现的。分辨率将是波形中点数和负载的组合。例如：在3N负载下，波形Delta的典型wfm步长约为4μm，波形中有8192个离散点时，微步分辨率约为0.5 nm。

总结

Piezo Motor 电机LL10

D型无磁真空

控制器

PMD301-01单轴控制器/驱动器

PMD401-01B单轴板级控制器

DMC-20019-01单轴Galil控制器

Piezo Motor LL1011D型

非磁性真空

单位注释

行程80（升20.8）

100.8毫米杆，

无机械适配器

速度范围0-15 mm/s无负载，取决于波形和驱动器

步长b 4μm一个wfm步长

0.0005 cμm一个微步c

分辨率<1 nm取决于驱动器

推荐

工作范围0-3 N，实现佳微步进

性能和使用寿命

失速力6.5 N

保持力7 N

真空10-7托

电压48 V

功耗d 5 mW/Hz=0.5 W，阶跃频率为100 Hz wfm

连接器焊接电缆

带JST 05SR-3S

机械尺寸22 x 19.3 x 10.8 mm，详见图纸

材料在

电机外壳非磁性

重量约23克

工作温度−20至+70ºC

Piezo Motor LL1011D线性电机介绍