PI PD72Z1x PIFOC物镜扫描系统

  PI PIFOC系列的压电挠性平台和物镜扫描仪在定位和扫描任务中提供高动态性。用于平行和垂直于光轴的XY试样定位以及物镜 Z 聚焦的良好适配解决方案可作为标准产品提供。与控制器和所有必需的连接电缆和软件一起的系统中也可以方便地使用阶段。与所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪在交付时都经过测量日志预先校准。

-PI用于亚纳米分辨率的高动态压电驱动器

-PI带有数字控制器、软件和可选 QuickLock 螺纹适配器的完整系统

-USB、RS-232、模拟接口

-PI行程 100 µm

-PI具有亚纳米分辨率的物镜精细定位

-PI零间隙、高精度挠性导轨系统

-PI使用电容式传感器进行直接位置测量

-PI与 MetaMorph、μManager 和 MATLAB 兼容

-PI所有伺服控制参数均可在运行过程中更改

-直接位置测量带来的大精度

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的任何影响。这实现了佳的可重复性、的稳定性和刚性、快速响应的控制。

-带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

-用于快速启动生产操作的广泛软件

得益于MATLAB 和 NI LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows、Linux 和 macOS）的支持，集成几乎可以在所有环境中成功 - 快速高效。复杂的编程示例和PIMikroMove等软件工具大大缩短了生产操作的时间。

PI PD72Z1x PIFOC应用领域

-显微镜

-共聚焦显微镜

-3D成像

-筛选

-自动对焦系统

-表面分析

-晶圆检测

PI PD72Z1x PIFOC物镜扫描系统