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兆声清洗机

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产品型号00001

品牌

厂商性质生产商

所在地南通市

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更新时间：2020-06-19 11:27:48浏览次数：234次

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江苏英思特半导体科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：3条

所在地区：江苏南通市

联系人：张青青（销售工程师）

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产品简介

1. 尺寸（参考）：约 6200W×2000D×2400H（（具体尺寸根据实际图纸确定）

2. 清洗件规格：一次性可清洗8寸晶片两篮

3. 典型生产节拍：5~10min/篮（清洗节拍连续可调）

4. 门：PVC透明视窗

详细介绍

兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。兆声波清洗的机理是由高频(850kHz)振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。

兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。