330104-04-18-10-02-00本特利探头

330104-04-18-10-02-00本特利探头

330104-04-18-10-02-00本特利探头

（1）控制系统

有电气控制和射流控制两种，一般常见的为电气控制。它是机械手的重要组成部分，它支配着机械手按规定的程序运动，并记忆人们给与机械手的指令信息（如动作顺序、运动轨迹、运动速度及时间），同时按其控制系统的信息对执行机构发出指令，必要时可对机械手的动作进行监视，当动作有错误或发生故障时即发出报警信号。

（2）位置检测装置

控制机械手执行机构的运动位置，并随时将执行机构的实际位置反馈给控制系统，并与设定的位置进行比较，然后通过控制系统进行调整，从而使执行机构以一定的进度达到设定位置。

  PLC 的应用
　　
　　3.1 动作表
　　 行车动作无非就是上下左右受控移动，按照的顺序(即动作表)完成一系列的动作。要求有几套动作表可以选择，动作可以静态修改，也可以在运行时由上位机动态修改。这种要求若是仅用简单的梯形图是无法实现的，因为动作都是由梯形图中的触点指令实现，而梯形图指令在运行时是不能修改的。现在的FX2N-PLC 增加了许多应用指令(底层操作，相当于微机的汇编指令)，以及提供了许多可供用户使用的数据存储单元，并且有间接寻址功能，这就使表结构操作成为可能。在这里，我们把行车的一个动作定义为：“到几号工位上升，再到几号工位下降”，或者是“延时几秒”，每个动作由一个字(16 位)组成，每个动作表由若干个动作字组成，放在PLC 的数据寄存器里，动作表由PLC 程序初始化，也可以在运行时通过串行通讯由上位机读取和修改，PLC 程序在运行时只是不断地解释和执行动作表。

TOKYO ELECTRON TEL FURNACE VD5105-30093-V1

OMRON TOKYO ELECTRON CLASS 2 DC POWER SUPPLY S8TS-06024 039-003628-1

Knurr DI-STRIP 9-Outlets PDU Max Load 125 VAC 15 Amp 35320091

TOKYO ELECTRON TEL DAIHEN RF GENERATOR AGA-27A1

TEL TOKYO ELECTRON ACT8 804 PROCESS BLOCK ROBOTIC ARM YOKOGAWA DR1100A00

APPLIED MATERIALS AMAT GRB SCREW CONE PT SKT ASZ/P M4X10 3690-90265 

CMC MACHINE CONTROLS PM SERVO MOTOR MH2105-057E OPTICAL ENCODER E2-500-250-I

DAIHEN RF MATCHING NETWORK 40.68 mHZ 12.88 mHZ DUAL FREQUENCY FRM-30A6-V

TOKYO ELECTRON TEL SMC AIR CYLINDER CJ2B16-75-DCR316 TRACK ACT8 024-025731-1

INFICON AG SKY CDG CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE BALZERS SENSOR LI-9496

KARL SUSS 6100 MA150

0020-38074 

KITZ SCT PNEUMATIC DOUBLE ACTION VALVE SQ106-034 UXG1205H-KL-113 

BOC EDWARDS VACUUM FLASH MODULE D37215020

APPLIED MATERIALS AMAT 0140-21383 

APPLIED MATERIALS AMAT ENDURA SUBZERO LIFT PINCH GUARD KIT 0240-05828 0040-07937

TOKYO ELECTRON LIMITED EPION CHAMBER CROSSING BROOKS AUTOMATION VAT 02112-BA24

Mykrolis Millipore WGFG06WC1 

SWAGELOK SS-810-1-8RTCP