3BSE078816R1 ABB

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 操作员站，其中一台兼作工程师站，且两台工控机可互为备用。上位机使用屏蔽双绞线同以太网交换机相连，通过以太网模块同PLC主机进行通讯。所有的数据显示和操作都可以在上位机上完成，并且还有报警，历史趋势和报表功能，给操作人员提供完备的使用环境。

TEL, Tokyo Electron SA03054

Varian 70278001

AMAT 0010-00148, 2125001

Brooks 5964C4

AMAT 0150-07029

Keyence Corp FS2-62

TEL, Tokyo Electron SC23036, 101-070474

TEL, Tokyo Electron SC23037, 101-070474

Switching Power OFSX-225IECF

MKS Instruments 683B-26033

Ultratech Stepper SP1982-2642

Analog Devices EVAL-ADUC836

Nemic-Lambda EWS100-24

ASCO Red Hat K302-108

Yaskawa SGDA-01AS

Elco J100-5, 8Y1253

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AMAT 3870-00690

THK Co. LTD, LM System, SR-30V

Sawamura Denki Kogyo Co, MM16F-J2-1500

Pittman GM8212S242

   AMAT 0140-02044

Keyence Corporation PZ51L

Pittman GM8714D610

AMAT 3800-00164, SMC 10-IR1000-N01B

Synchroflex 101-530078, SB07204, SP-GY11

Leybold TCU-1000

Daihen SGP-15B

AMAT 1010-01501

Kobishi Electric BZ-34W

AMAT 0020-06617 Rev. B1

Daihen SGP-15B

Tegal 59-011-001

Nissin NI92-0596

AMAT 3860-01117