P1K1210BD 24VDC 施耐德

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 真空开关合闸，手动按动控制活动电极下降的按钮一次后，电极自动下降一种方案，当调试时，这一方案突然失灵。为了能够对付这种突发事件，以及更进一步地实现自动控制，该控制系统补充了两种方案与已有方案并存。*种方案实现了当真空开关合闸，滑差调节器控制系统自动进入活动电极下降程序。第二种方案考虑了意外情况，对电机的下降*采用手动下降操作。

AMAT 0660-01791

AMAT 0100-90952

AMAT 0660-01791

Varian PPM 992622-00D, 87-195861-A

Varian PPM 992622-00E, 87-195861-00

Power One HCBB-75W-A

Varian PPM 992622-00D, 87-195861-A

Varian PPM 99262200, 87-19586100

Varian PPM 992622-00D, 87-195861

MC Electronics LM8SMGA

M.E.C. Tech MEC83306-3017L

AMAT 0020-03058

AMAT 0190-07351

Novellus 04-716639-01

CADAC E92481, CMVO-1, 9628

CADAC E77755, CMVO-1, 9628

AMAT 3220-01051

Varian 01907110-00D

Pamona 2393

MKS CDN391R, AS01391-21-1-1

AMAT 0150-09688

Vacuum Flex Hose, Tube, Flange, KF40, 420755

AMAT 0021-13622

Novellus 04-716642-01