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TTS-4000 EFEM（4工位EFEM）

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更新时间：2023-06-05 18:38:18浏览次数：191次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：23条

所在地区：辽宁沈阳市

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产品简介

一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。

详细介绍

新松一直致力于提供半导体晶圆加工和其他复杂的制造环境所需的高性能、超洁净和久经考验的可靠性。该四工位EFEM是集成大气机器人，预对准机以及缓存工位等部件的综合性产品，可以给客户提供晶圆传送的一体化方案。产品具有很强的适应性，以满足特定的应用需求。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。满足半导体制造商的期望和要求。

参数：

项目		Input信息
Wafer规格	材质尺寸	300mm wafer
	Alignment Mark	Notch
	厚度	标准wafer
	温度	≤200℃
与传送片接触处的材质		陶瓷
片盒规格（类型、厂家、段数、段间距等）		Foup
AMHS（自动物料搬送系统）要求		OHT
搬送精度（Alignment精度）		±0.1mm
Particle Spec		ISO Class 1
Throughput		>100wfrs/h
Stage数（LP数）		4
Load Lock	Stage数（LL）	4
	位置（XYZ）	四个LL
	Wafer放置精度　X-Y	±0.1mm
	Wafer放置角度精度	/
整机规格		参照尺寸说明
Foot Print	Ｗ	≤2575
	Ｄ	≤750
	Ｈ	≤2500
重量		≤1600KG
整机设计参照标准		SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400
软件界面设计参考标准		SEMI E30, E84