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3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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品       牌

厂商性质经销商

所  在  地北京市

更新时间:2019-11-07 14:18:33浏览次数:1749次

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经营模式:经销商

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所在地区:北京北京市

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产品简介

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部,检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式,能够有效地降低搬运高度

详细介绍

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部,检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式,能够有效地降低搬运高度

应用设备实例

AOI设备;液晶工厂内生产线
 

规格

被搬运物*730x920x1.1mm玻璃基板(具有代表性的标准尺寸)
 手臂旋转升降
可动范围*
(被搬送物体中心到达距离)
1550 mm330度600 mm
搬运速度 (平均速度)*1375 mm/1.8sec180度/1.5sec600 mm/1.7sec
精度*8.2 µm以下0.0008度2.4 µm以下
搬运高度*217mm(法兰安装面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度±0.2mm以内
洁净度0.3µm/cf Class10(驱动结构内部独立排气的条件下)
厂务电源:単相AC200V±10% 3 kVA  真空:优于-73kPa

*测试机型:LHR3400C-600-AM的标准型号 (被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同)

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

特点

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运,Z轴大行程900 mm
 

  • 机械手臂标准臂长:400 mm,500 mm,700 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:400 mm,500 mm,600 mm,760 mm,900 mm,1500 mm(Z轴400 mm,500 mm,600 mm为单段式,实物和照片有区别)
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm,500 mm)
                       手臂第3关节处基准40 kgf以下(700 mm)
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板
  • 基板固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 手指可以安装多种传感器(校准,有无,Mapping等)
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供优的手指


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