当前位置：北京锐洁机器人科技有限公司>>校准器>>2寸晶圆对应校准器（Aligner）

2寸晶圆对应校准器（Aligner）

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质经销商

所在地北京市

在线询价收藏产品查看联系电话

联系方式：经理查看联系方式

更新时间：2019-11-07 14:18:32浏览次数：3704次

联系我时，请告知来自智慧城市网

暂无信息

北京锐洁机器人科技有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：21条

所在地区：北京北京市

联系人：经理（经理）

询价 给他留言

产品简介

2寸晶圆对应校准器（Aligner）适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。有利于传输模块、真空传输腔室的小型化

详细介绍

2寸晶圆对应校准器（Aligner）适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。有利于传输模块、真空传输腔室的小型化；

2寸晶圆对应校准器（Aligner）

应用设备实例

检测设备，PE-CVD设备，LED生产设备

规格

被搬运物	2寸硅片晶圆
位置精度	晶圆中心：±0.3mm以内切边定位范围：±0.3度以内
位置确定所需时间	定位晶圆中心：大体10 sec
传感器	缺边检测Sensor
晶圆吸附方式	校准时：通过气缸驱动的边缘夹持机构固定晶圆缺边检测时：Spindle上的晶圆通过真空吸附方式固定
洁净度	ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下)
动力	使用1台2相步进电机（电机驱动器内置）
厂务	电源：DC24V±10% 2A 正压：0.15～0.5 MPa（用处是握柄居中机构）真空：优于-70 kPa（切边定位范围）