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SAL3000HV系列晶圆校准器

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更新时间：2019-11-07 14:18:32浏览次数：2662次

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北京锐洁机器人科技有限公司

经营模式：经销商

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产品简介

SAL3000HV系列晶圆校准器适用于2, 3寸, 100-300 mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。全自动调整功能软件【JEL ALIGN TOOL】能够完成多种不同用途晶圆的校准功能。

详细介绍

SAL3000HV系列晶圆校准器适用于2, 3寸, 100-300 mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。全自动调整功能软件【JEL ALIGN TOOL】能够完成多种不同用途晶圆的校准功能。

使用了新技术的可用于多种材质晶圆的新产品

SAL3000HV系列晶圆校准器

应用设备实例

PE-CVD设备；AOI设备

规格

被搬运物	SEMI规格晶圆(透明, 半透明, 硅片晶圆) (其他可根据特殊晶圆的形状，材质为客户提供灵活的定制设计) 2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV) 100-200 mm (SAL3482HV) 200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度	晶圆中心：±0.1 mm以内晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内
位置确定所需时间	3秒（不包括晶圆的取放时间）
传感器	LED灯照明+图像识别传感器的方式对晶圆边缘进行检测
位置校正范围	半径4mm以内
晶圆吸附方式	真空吸附式
洁净度	ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
质量	大约10 kg
厂务	电源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上