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SAL3261GR晶圆对应光学式校准器

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更新时间：2019-11-07 14:18:32浏览次数：610次

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北京锐洁机器人科技有限公司

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产品简介

SAL3261GR晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于LED行业蓝宝石晶圆的搬运。

详细介绍

SAL3261GR晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于LED行业蓝宝石晶圆的搬运。

SAL3261GR晶圆对应光学式校准器

规格

被搬运物	*缺边
被搬运物	SEMI规格 2, 3寸 100～150 mm硅片以及透明晶圆
位置确定所需时间	定位晶圆中心：3 sec
位置精度	晶圆中心：±0.2mm以内晶圆缺边：±0.2度以内
传感器	可视光半导体激光传感器
晶圆尺寸切换	命令控制方式或者通信方式
洁净度	ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下)
动力	3轴使用2相步进电机, 电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务	电源：DC24V±10% 3A 真空：优于-53 kPa