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SAL3481晶圆对应光学式校准器

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SAL3481晶圆对应光学式校准器
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更新时间：2019-11-07 14:18:32浏览次数：1276次

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产品简介

SAL3481晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于4～8寸晶圆的搬运，体积小，性价比高。

详细介绍

SAL3481晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于4～8寸晶圆的搬运，体积小，性价比高。

  • 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸

SAL3481晶圆对应光学式校准器

应用设备实例

PE-CVD设备；AOI设备

规格
被搬运物SEMI规格 100～200 mm硅片
位置确定所需时间定位晶圆中心：3 sec
位置精度晶圆中心：±0.1 mm以内
晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内
传感器可视光半导体激光传感器
洁净度ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下）
动力3轴使用2相步进电机，电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务电源：DC24V±10% 3A
正压：60 SLM, 0.01-0.3 MPa

 

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        • 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
        • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
        • 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
      • 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
      • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
      • 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
    • 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
    • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
    • 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
  • 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸


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