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储片盒内晶圆自动搬运传输平台

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储片盒内晶圆自动搬运传输平台
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更新时间：2019-11-07 14:18:31浏览次数：2508次

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北京锐洁机器人科技有限公司

经营模式：经销商

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产品简介

储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构

详细介绍

储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构

储片盒内晶圆自动搬运传输平台

  • 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
  • 一台设备可以完成打包和拆包的功能
  • 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
  • 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
  • 可自动识别晶圆高度
  • 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
  • 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
  • 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
  • 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

    应用设备实例

    半导体工厂生产线

    规格

    可对应片盒的种类200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
    被搬运物200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
    洁净度ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
    外形尺寸1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高)
    厂务电源：AC200V±10%  洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
    重量700 kg


或

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