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伯努利机械手指(接触式)

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产品型号

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地北京市

更新时间:2019-11-07 14:18:31浏览次数:3931次

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经营模式:经销商

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所在地区:北京北京市

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产品简介

伯努利机械手指(接触式)针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用

详细介绍

伯努利机械手指(接触式)针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用可用于6、8、12寸晶圆的非接触式End-Effector,非常适合减薄晶圆,广泛应用于半导体后道工序设备
通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计

伯努利机械手指(接触式)

  • 利用伯努利原理的气流压力差吸附晶圆
  • 利用橡胶垫和晶圆之间的摩擦力,防止晶圆在传输过程中可能发生的位置偏移
  • 晶圆表面和机械手指的橡胶垫发生接触,能够同时对应不同规格的晶圆(※特殊情况的组合下,存在无法实现不同尺寸晶圆兼顾的情况),相对于非接触式机械手指,接触式机械手指的厚度可以做到更薄
  • 相对于真空吸附方式的手指,伯努利原理机械手指的吸附力会分散到整个晶圆表面,更适合用于减薄晶圆的传输


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