Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台
半导体参数测试仪与MM探针台主要技术指标
探针台：
1.探针台主机：卡盘XY运动范围200mm*200mm,Z轴运动范围25mm
2.丝杆轴承确保高精度移动，分辨率3.5um
3.针座：精度0.7um
4.加热台: 温度范围室温-400℃
半导体参数测试仪
1.直流I-V测试：
具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同时测量zui小电压分辨率0.5μV、zui小电流分辨率0.1fA
2.C-V测试：频率1KHz-5MHz；偏置电压：±25V；测量精度±0.2 %
3.可实现C-V和I-V测量间自动切换，不会影响测量精度
4.脉冲IV：
提供两路快速IV/脉冲输出，具有任意波形产生功能
zui小脉冲宽度：50ns；脉冲电平范围：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω负载)；电压测量精度：±0.1%读值, ±0.1% 量程；电流测量精度：±0.1% 读值, ± 0.2% 量程
主要用途
支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量，准静态和中频电容-电压(C-V)测量，时域测量等。
公司主要研发、制造和销售的检测仪器有：电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉反射炉气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶绝缘子行业测试设备、PCB三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等，可接定制仪器订单。
