PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶

时间：2021-1-22阅读：2151

光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括：光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩（掩模版）转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。

光刻胶按应用领域分类，可分为 PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶。市场上不同种类光刻胶的市场结构较为均衡，具体占比可以如下图所示。

目前，本土光刻胶以PCB用光刻胶为主，平板显示、半导体用光刻胶供应量占比。本土光刻胶企业生产结构可以如图所示。

本土光刻胶企业生产结构

产品供应;

产品	型号	光源	类型	分辨率	厚度（um)	适用范围
厚胶 Thick Resist	SU-8 GM10xx系列	g/h/i-Line	负性	0.1um	0.1-200	具有大的高宽比，透明度高，垂直度。
	SU-8 Microchem	g/h/i-Line	负性	0.5um	0.5-650	具有大的高宽比，透明度高，垂直度。
	SPR220	g/h/i-Line	正性	1um	1—30	可用于选择性电镀电镀，深硅刻蚀等工艺。
	NR26-25000P	g/h/i-Line	负性		20-130	厚度大，相对容易去胶。
电子束光刻胶	型号	光源	类型	分辨率	厚度（um)	适用范围
	SU-8 GM1010	电子束	负性	100nm	0.1-0.2	可用于做高宽比较大的纳米结构。
	HSQ	电子束	负性	6nm	30nm~180nm	分辨率好的光刻胶，抗刻蚀。
	XR-1541-002/004/006	电子束	负性	6nm	30nm~180nm	分辨率好的光刻胶，抗刻蚀。
	HSQ Fox-15/16	电子束	负性	100nm	350nm~810nm	分辨率好的光刻胶，抗刻蚀。
	PMMA(国产)	电子束	正性	\	\	高分辨率，适用于电子束光刻工艺，常用的电子束光刻正胶。
	PMMA（）	电子束	正性	\	\	MicroChem，分子量，适用于电子束光刻工艺，常用的电子束光刻正胶。
薄胶	型号	光源	类型	分辨率	厚度（um)	适用范围
	S18xx系列	g-Line	正性	0.5um	0.4-3.5	常用的薄光刻胶，分辨率高，稳定。
	SPR955系列	i-Line	正性	0.35um	0.7-1.6	高分辨率（0.35um）光刻胶，稳定。
	BCI-3511	i-Line	正性	0.35um	0.5-2	国产0.35um光刻胶，已经在量产单位规模使用。
	NRD6015	248nm	负性	0.2um	0.7-1.3	国产深紫外光刻胶，已经在量产单位规模使用。
Lift off光刻胶	型号	光源	类型	分辨率	厚度（μm)	适用范围
	KXN5735-LO	g/h/i-Line	负性	4μm	2.2-5.2	负性光刻胶;倒角65-80°，使用普通正胶显影液显影。
	LOL2000/3000	g/h/i-Line	/	NA	130nm-300nm	非感光性树脂，可以被显影液溶解，作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。
	ROL-7133	g/h/i-Line	/	4um	2.8-4	负性光刻胶，倒角75~80°，使用普通正胶显影液。
光刻胶配套试剂	品名	主要成分	包装	应用	/	/
	正胶显影液	TMAH 2.38%	4LR/PC	正胶显影液	/	/
	正胶稀释剂	PGMEA	4LR/PC	稀释剂	/	/
	SU8 显影液	PGMEA	4L/PC	显影SU8光刻胶	/	/
	RD-HMDS	HMDS	500ml/PC	增粘剂	/	/
	OMNICOAT	见MSDS	500ml/PC	SU-8增粘剂	/	/

产品名称 cas

1-丙烯酸金刚烷酯 121601-93-2

1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8

丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3

4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2

1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 216581-76-9

2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 249562-06-9

2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 303186-14-3

1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9

2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7

甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7

2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 297156-50-4

2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 251564-67-7

gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 130224-95-2

N-异丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6

(9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1

(5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9

1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1

1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4

2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 31480-93-0

n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5

2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5

甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9

2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1

2-乙烯基萘 827-54-3

2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8

2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 195000-66-9

丙烯酸甲基环戊酯 178889-49-1

丙烯酸1-乙基环戊酯 326925-69-3

2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2

4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9

4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0

甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3

3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7

acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0

1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0

1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8

2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7

2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8

1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7

1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8

4-异丙基苯酚 4286-23-1

(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5

乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1

2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2

1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6

甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯 15895-80-4

oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0

6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7

3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1

2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8

2,3-二羟基丙烯酸丙酯 10095-20-2

2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 2653-39-6

3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3

2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 123455-94-7

二苯基酰氯 1483-72-3

双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］鎓与三氟甲磺酸的盐 84563-54-2

全氟丁基磺酸三苯基锍盐 144317-44-2

双(4-叔丁基苯基)氯化鎓 5421-53-4

TBPDPS-PFBS 258872-05-8

1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸盐 194999-85-4

(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0

N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 85342-62-7

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