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产品介绍
PS-7新宇宙XPS-7Ⅱ毒气/半导体材料气体探测仪【 186马6019科6936】检测对象毒气/半导体材料气体检测范围根据规格而定检测原理定电位电解式检测方式自动吸引式应用行业石油化工、半导体制造产品描述:半导体材料气体检测01.产品特点● 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体● 用盒式传感器单元进行气体检测器校正● 可以大幅度削减成本和维护时间02.新宇宙XPS-7Ⅱ毒气/半导体材料气体探测仪用途● 半导体工厂/石油化学工厂等● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
气体 | XDS-7NH | 100ppm |
SiH4 | XDS-7DC | 25ppm |
AsH3 | XDS-7PH | 1ppm |
B2H6 | XDS-7SE | 250ppb |
GeH4 | XDS-7CL | 5ppm |
ClF3 | XDS-7HC | 25ppm |
HF | XDS-7HB | 10ppm |
NO | XDS-7HS | 50ppm |
CO | XDS-7DS | 25ppm |
F2 | XDS-7OZ | 1ppm |
SO2 | XDS-7ND | 10ppm |
NF3 | <span "="" style="border: 0px;">100ppm |
新宇宙XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测器参数
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